型号：AV-P4
外形尺寸：2140 (W) x1340 (D) x 1760(H) mm
反应仓尺寸：320(W)x6 10(D)x50(H) mm
等离子体发生器：频率13.56MHz,功率0- 600W可调，自动阻抗匹配
气路系统：标准配置2路(O,\Ar/H2)，质量流量计控制，气体流量0- 200m/min可调
控制系统：触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式
料片尺寸：长150-270mm，宽35-95mm
效率：4道4片，约500片/小时
应用工艺：集成电路IC封装工艺LED封装工艺
备注：可按客户需求弹性设计
产品特点：
性价比高，可通过组件和载具进行形式转换，兼容不同形状大小的料片。
自动化程度高，全自动方式减少了人为因素，降低二次污染并节约了人力成本。
设备清洗后其表面活性明显增强，均匀性和粘结力显著提升。
屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控。
配备故障报警功能，可提示故障项目，便于发现和维修。
配备自动取片、传输、送片等其他方面的功能。
