型号：AH-V1000
设备外形尺寸：长x宽x高= 1850*1800*2100mm
真空腔体尺寸：长x宽x高=1450*670*950mm
最大处理尺寸：长x宽= 1290*570mm
最大处理层数：13层
输入电压：三相交流380V 50Hz
输出频率：40KHz
输出功率：10Kw
放电真空度：20Pa-80Pa
可加载气体：四种(O2， N2， H2，CF4)
产品特点：
适用于大批量PCB/FPC等产品应用范围广；
处理时间短，效率高，提高产能；
设备操作极其简单方便，使用成本极低，易于维护；
工艺简单，整个处理过程自动控制；
干式工艺，处理后产品表面无残留，无三废排放，安全环保。
