型号：AV-P30
设备外形尺寸：长x宽x高= 2380*2150*2200mm
真空腔体尺寸：长x宽x高= 1445*1265*1055mm
最大处理尺寸：长x宽= 1120*635mm
最大处理层数：15层
输入电压：三相交流380V 50Hz
输出频率：40KHz
输出功率：10Kw
放电真空度：20Pa-80Pa
可加载气体：四种(O2, N2, H2, CF)
产品特点：
采用上进气下抽气的方式，专利的抽气挡板保证优良的均匀性。
具有缺气、压力保护、电路保护等安全保护系统。
电极板用整块铝板中间镂空，冷却通道采用深钻孔方式结合内部 特定位置截流，引导冷却水按规定方向运行，保证温度均匀性。
采用两路水路，分别单独给真空腔体和干泵确保冷却效果。
