在X射线仪器中，电子探针是一类较为特殊的分析仪器。电子探针专门用于微区成分分析，它利用细聚焦电子束作为探针，可因此以只激发检测对象的某一微小区域。与其他X射线仪器相同，电子探针的原理也是激发试样，使其产生特征X射线，检测该X射线的波长和强度，从而对微区的元素作定性或定量分析。
电子探针的分析方法主要有定点分析、线扫面分析和面扫描分析。
(1) 定点分析
定点分析是对试样某一定点进行成分及含量分析。其原理如下：用光学显微镜或荧光屏显示的图像选定需要分析的点，使聚焦电子束照射在该点上，激发试样元素的特征X射线，用波谱仪或能谱仪测定该点的元素组成和含量。聚焦电子束斑可以集中在试样中直径为1μm的微区范围内测定该点的组成与含量，因此定点分析又称为微区分析。
(2) 线扫描分析
入射电子束在样品表面对选定的直线轨迹(穿越矿物或界面)扫描，使能谱仪固定检测所含某一元素的特征X射线信号，并将其强度在荧光屏上显示，可以系统地取得有关元素分布不均匀的资料。通常直接在二次电子或背散射电子像上叠加显示沿扫描方向的X射线强度分布曲线，可以更加直接地表明元素浓度不均匀性与矿石结构之间的关系。线扫描对于测定元素在矿物内部的富集与贫化十分有效。
(3) 面扫描分析
让入射电子束在样品表面进行二维面扫描，能谱仪固定接受其一元素的特征X射线信号，在荧光屏上得到由许多亮点所组成的图像，称为X射线面扫描像或元素面分布图像。图像亮点较密区域应是样品表面该元素含量较高的地方，所以X射线扫描像可以提供元素浓度的面分布不均匀的资料，并可以同矿物的显微结构联系起来。面扫描分析对于分析矿物的固溶体分解结构以及矿物内部微细包裹体等内容是非常有效的。
微区成分分析可以分析非常小的区域内的成分，在物理学、化学、材料科学、生命科学等领域都有较多的应用。电子探针作为微区分析的常见方式，也是相关学科领域研究的必要工具。不同的扫描分析方法也让电子探针可以拥有更多样的应用。（源自仪器网）
