1，微区分析电子探针分析区域可以是几个立方微米，能将微区化学成分与显微结构对应起来进行点分析（用于选定点的全谱定性分析或其中所含元素的定量分析），线分析（用于显示元素沿选定直线方向上的含量变化）和面分析（用于观察元素在选定微区内含量分布）；
2，元素分析范围广配置了能谱仪的电子探针分辨率很高，峰背比高，定量分析准确，但样品表面要平整光滑以方便聚焦；
3，不损坏试样电子探针能同时利用扫描电子束得到二次电子或背散射电子的形貌图像（但是形貌效果不如扫描电子显微镜），可以获得更低的元素检出限，定量分析更准确，特别是微区分析表现突出。
